低溫滅菌方法是利用化學滅菌劑殺滅病原微生物的方法。化學藥劑進行滅菌處理時所需溫度較低，通常稱為低溫滅菌方法或化學滅菌方法。低溫滅菌使用的化學消毒劑能夠殺滅所有微生物，達到滅菌保證水平，這類具有滅菌作用的化學藥劑有甲醛、戊二醛、環氧乙烷、過氧乙酸等。化學滅菌用于不能耐受高溫、濕熱材質類的器械的滅菌。
常用的低溫滅菌方法有過氧化氫等離子低溫滅菌、環氧乙烷滅菌、低溫甲醛蒸汽滅菌等。
1. 過氧化氫等離子低溫滅菌：
通過過氧化氫液體彌散變成氣體狀態后對物品進行滅菌，通過產生的等離子體進行第二階段滅菌。等離子過程還可加快、*分解過氧化氫氣體在器械和包裝材料上的殘留。等離子體滅菌法的特點為作用迅速、殺菌可靠、作用溫度低、清潔而無毒性殘留。適用于內鏡、不耐熱器材、各種金屬器械、玻璃等物品；能吸收水分和氣體。
2. 環氧乙烷滅菌：
環氧乙烷是一利無色氣體，低濃度時無味。其氣休穿透力強，可穿透玻璃紙、聚乙烯或聚氯乙烯薄膜等，對微生物的蛋白質、DNA、RNA產生非特異性的烷基化作用，使其失去新陳代謝的基本反應基而被殺滅，殺菌力強，殺面譜廣，滅菌效果可靠，對滅菌物品損害較小等。
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